Technologie hochintegrierter Schaltungen: 19 (Halbleiter-Elektronik)

Habe die Taschenbuchversion gekauft. Das Buch kam trotzdem in der neuesten Auflage mit rotem Einband.Der Text liest sich gut und "flüssig". Das Buch enthält auch Tabellen und Beispiele!Gut gefällt mir die Abwägung von Vor- und Nachteilen der einzelnen, beschriebenen Prozesse.Leider ist das Buch doch schon etwas in die Jahre gekommen. Daher stimmen einige Angaben zur "Zukunft" oder zu als noch zu untersuchende Techniken (welche heute bereits üblich sind). Beispiel: STI (Shallow-Trench-Isolation) ist heute bereits eine Standardtechnik. Ansonsten behält das Buch im Großen und Ganzen seine Gültigkeit und ist sehr informativ.Weiters fehlen neuere Prozesse wie zum Beispiel ALD (eigentlich recht alt; aber nicht im Buch beschrieben).Auch ein detailreicheres Kapitel zu Messverfahren im und nach dem Prozess (bei Entwicklung oder zur Defektdichteuntersuchung) könnten das Buch noch etwas mehr aufwerten. Dies ist aber schon Kritik auf hohem Niveau.Hoffentlich findet sich einer der Autoren oder ein Nachfolger welcher das Buch aktualisiert.